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半导体化学品半导体制造在很大程度上是一种与化学有关的工艺过程，高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理： 我们习惯将硅片制造中使用的化学材料称为工艺用化学品，有不同种类的化学形态（液态和气态）并且要严格控制纯度。这些工艺用半导体化学品主要作用如下：
液态高纯试剂，其等级根据纯度分为UP-S、UP、EL三个等级，其中EL又划分为： 电子级1级（EL-Ⅰ）其金属杂质含量为100--1000 PPb，相当SEMI C1 C2标准; 电子级2级（EL-Ⅱ）其金属杂质含量为10--100 PPb,，相当SEMI C7标准; 电子级3级（EL-Ⅲ）其金属杂质含量为1--10 PPb，相当SEMI C7标准; 电子级4级（EL-Ⅳ）其金属杂质含量为0.1--1PPb，相当SEMI C8标准; 上一篇色谱级试剂概述下一篇湿电子化学品概述及分类 |
